等離子清洗機(jī)的真空度，是影響等離子表面處理效果重要的因素之一。國(guó)內(nèi)品牌的清洗機(jī)常用的真空度壓力單位基本是帕(Pa)，但是不同國(guó)外品牌的清洗機(jī)就會(huì)出現(xiàn)托(Torr)、巴(bar)等單位，相互之間如何換算，有的時(shí)候不太容易搞得清楚。今天我們就來(lái)梳理一下常見(jiàn)的幾個(gè)真空壓力單位，供大家參考。
 

　　1 等離子清洗機(jī)的真空、真空度和壓力單位：
 

　　清洗機(jī)是指真空反應(yīng)腔室里面低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài)，微觀上來(lái)講就是腔體內(nèi)的氣體分子密度小于大氣壓的分子密度，不同的真空狀態(tài)意味著不同的分子密度。
 

　　真空度反應(yīng)的是真空狀態(tài)空間氣體的稀薄程度，通常用氣體壓力值來(lái)來(lái)表示。真空度越高，壓力值越小;真空度越低，壓力值越大。
 

　　壓力單位反應(yīng)真空壓力值的大小，由于歷史和習(xí)慣的原因，不同的國(guó)家和地區(qū)使用的單位有所區(qū)別。

 

　　2 等離子清洗機(jī)幾種常見(jiàn)的真空壓力單位和相互之間的換算：
 

　　國(guó)內(nèi)外品牌清洗機(jī)比較常見(jiàn)的真空壓力單位有3個(gè)，即帕斯卡(Pa)、托(Torr)、巴(bar)，其中后面兩個(gè)單位歐美系的品牌比較常見(jiàn)。
 

　　2-1、帕斯卡(Pa)，簡(jiǎn)寫(xiě)帕，國(guó)際單位制，我國(guó)法定壓力單位，是為紀(jì)念法國(guó)物理學(xué)家與數(shù)學(xué)家帕斯卡而命名。換算關(guān)系如下：
 

　　1 帕(Pa)= 7.5×10-3托(Torr)=10-2毫巴(mbar)
 

　　2-2 托(Torr)，1Torr即1mmHg。Torr 參照國(guó)際單位制(簡(jiǎn)稱SI)制訂的中華人民共和國(guó)法定計(jì)量單位規(guī)定壓強(qiáng)單位為Pa(帕)，兩種單位之間換算關(guān)系為1托=133.322帕。換算關(guān)系如下：
 

　　1托(Torr)=133.322帕(Pa)=1.33322毫巴(mbar)
 

　　2-3 巴(bar)，非法定計(jì)量單位，即1平方厘米的面積上受到100萬(wàn)達(dá)因作用力，壓強(qiáng)就是1巴，合100000帕。
 

　　換算關(guān)系如下：
 

　　1毫巴(mbar)=7.5×10-1托(Torr)=102帕(Pa)
 

　　3 等離子清洗機(jī)真空壓度的測(cè)量：
 

　　用來(lái)測(cè)量清洗機(jī)真空度的儀器是真空計(jì)(Vacuum Gauge)，又名真空表，其度數(shù)反應(yīng)的是清洗機(jī)反應(yīng)腔室內(nèi)氣壓的變化和實(shí)時(shí)的數(shù)值，能否精準(zhǔn)測(cè)量對(duì)等離子表面處理工藝很重要。不同的真空度，等離子體放電狀態(tài)、等離子密度和特性區(qū)別很大。